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技術(shù)文章

激光位移傳感器在半導(dǎo)體丨FPD丨光伏產(chǎn)業(yè)應(yīng)用(二)

作者:admin   發(fā)布時(shí)間:2018/10/19 9:54:42   瀏覽次數(shù):2547

1、檢測晶圓片位置

        監(jiān)控晶圓片是否正確存放在晶圓盒里,以便機(jī)械手正確抽取晶圓片。

型號:CD5-W2000


2、激光測距傳感器PCB板的平整度檢測

        CD33檢測PCB基板的平整度。

    通過亞像素處理和靈敏度自動(dòng)調(diào)整功能可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定檢測,不受基板的不同顏色的影響。

型號:CD33系列


3、激光測距傳感器透明薄膜的厚度檢測

        CD5-LW25常用于檢測透明薄膜的厚度,重復(fù)精度:0.02μm

    通過使用兩個(gè)位移傳感器對射分別檢測透明薄膜的兩面,從而實(shí)現(xiàn)厚度檢測。

型號:CD5-LW25


4、激光測距傳感器監(jiān)控液晶玻璃的變形

        CD5-L25檢測液晶玻璃的平整度。

    正反射型CD5-L25可以檢測透明玻璃厚度,重復(fù)精度可達(dá):0.02μm。

 通過高精度測量玻璃表面峰值及谷值的誤差,從而判定玻璃是否變形。

型號:CD5-L25+CD5A-N



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